双束扫描电子显微镜检测

专业双束扫描电镜(FIB-SEM)检测服务,用于半导体失效分析、微纳加工。提供定点截面加工、TEM样品制备、选择性刻蚀与沉积、成分分析,精准观察芯片内部结构,助力先进制程工艺诊断与缺陷定位。