DB-FIB双束聚焦离子束显微镜

专业DB-FIB双束聚焦离子束显微镜服务,提供高精度TEM薄片制备、芯片电路修复、FA热点截面分析及定点加工。覆盖Si、SiC、GaN等材料,满足先进制程芯片失效分析与工艺优化的需求。